Автор: Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р., Хендерсон Р.К., Балантайн Дж.П.
-
Ключові слова:
електронно-променеві технології ; мікроелектронні прилади, микроэлектронные приборы
-
Теми документа
-
ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
|