Зведений каталог бібліотек Києва
Третяк, О. В. Дефектные состояния в термообработанном кремнии [Текст] / О.В. Третяк, Ю.А. Аверкин, В.А. Гирий та ін. // XII Всес.конф. по микроелектрон.: Тезисы докладов. — С.23.
Автор: Третяк О.В., Аверкин Ю.А., Гирий В.А., Помозов Ю.В., Шматов А.А.
- Теми документа