А | 68961 | Каримов, Р. Х. Исследование характера распределения примесей в кристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского [Текст] : Автореф. дис. ... канд. техн. наук / Каримов Р.Х. ; АН УзССР , Объед. уч. совет по физике , Отд. физ.-техн. и матем. наук. — Ташкент, 1970. — 22 с. |
| | |
|