А
143338	Оксанич, Анатолій     Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва [Текст] : Автореф. дис. ... д-ра. техн. наук:05.27.06 / Оксанич А.П.; Харк. нац. ун-т радіоелектроніки. — Харків, 2002. — 34 с.