34.7я73
П84	Проценко, І. Ю.     Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Текст] : навч. посіб. / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець. — Суми : СумДУ, 2011. — 231с.
ISBN 966-657-336-3