22.333
В14	Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование [Текст] : [монография] / И.И. Аксенов, А.А. Андреев, В.А. Белоус и др.; под ред. И.И. Аксенова. — К. : Наукова думка, 2012. — 726 с.
ISBN 966-00-1134-2