32.852
Д76	Дружинін, А. О.     Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки [Текст] : монографія / А.О. Дружинін, І.Т. Когут, Ю.М. Ховерко. — Львів : Львівська політехніка, 2013. — 232 с.
ISBN 617-607-490-8