Зведений каталог бібліотек Києва
34.663я73П12Пазуха, І. М. Фізичні властивості плівкових матеріалів мікро- і наноелектроніки. У 2 ч. [Текст] : навч. посіб. / за заг. ред. І.Ю. Проценка. — Суми : СДУ, 2014. — 212 с.
- Теми документа