32.844.1-5-05я723
П16	Панфилов, Ю. В.     Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы [Текст] / Ю.В. Панфилов, Т.В. Рябов, Ю.Б. Цветков. — М. : Радио и связь, 1988. — 320с.