32.97я73
Я22	Яворський, Н. Б.     Комп‘ютерні методи в інженерії мікроелектромеханічних систем [Текст] : навч. посіб. / Н.Б. Яворський, В.М. Теслюк, Є.І. Литвинова. — Львів : Львівська політехніка, 2016. — 304 с.
ISBN 617-607-892-0