32.852-06я722
Т38	Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10-и кн. [Текст]. Литографические процессы : Учеб.пособие для ПТУ. / В.В. Мартынов, Т.Е. Базарова. — М. : Высшая школа, 1990. — 126с.