22.3я73
Р18	Райзер, Ю. П.     Высокочастотный емкостный разряд: физика. Техника эксперимента. Приложения [Текст] : Учеб. пособие для ВУЗов / Ю.П. Райзер, М.Н. Шнейдер, Н.А. Яценко. — М. : МФТИ, 1995. — 320с.