З852
З402	Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия): Отечественная и иностранная литература за II полугодие 1970 г.- I полугодие 1972 г. [Текст] : тематический указатель литературы / Министерство электронной промышленности СССР; сост.: Ижмякова Л. Ф., Щеглова В. В. — ОНТИТЭИ, 1972. — 190 с.