В монографии рассмотрены методы получения слоистых структур типа диэлектрик - полупроводник, металл - диэлектрик - полупроводник, способы различных активных воздействий на их физические свойства и приборные характеристики. Большое внимание уделено изложению физических представлений о механизмах протекания неравновесных явлений в полупроводниках и диэлектриках.
