З843 | М744 | Александров, Л. Н. Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло [Текст] : монография / АН СССР, Сибирское отделение, ИНститут физики полупроводников; отв. ред.: Стенин С. И. — Новосибирск : Наука, 1991. — 168 с. : ил. 90 + табл. 1. |
| | |
|