|
-
Ключові слова:
прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; схема інтегральна, схема интегральная ; прилад фотоелектричний, прибор фотоэлектрический ; технологія виробництва, технология производства
-
Анотація:
Описаны основные технологические процессы полупроводникового производства; рассмотрены: тенденции и особенности производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем; виды механической, химической и электрохимической обработки; изготовление фотошаблонов; процессы фотолитографии, эпитаксии, диффузии, ионной имплантации, испарения и напыления в вакууме; методы защиты поверхности структур, сборки и герметизации приборов; технологии изготовления структур на полупроводниковых соединениях. Для студентов вузов по специальностям полупроводниковой и электронной техники.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Технология производства полупроводниковых приборов. Производство полупроводниковых фотоэлектрических приборов
-
ББК науковий // Учебные и практические издания по интегральным схемам
|
