прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; схема інтегральна, схема интегральная
Описаны основные свойства и характеристики полупроводниковых, химических, фотолитографических, конструкционных, защитных, пластмассовых, абразивных, легирующих и вспомогательных материалов, применяемых при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
