апаратура радіоелектронна, РЕА, аппаратура радиоэлектронная, РЭА, radio elektronic equipment ; мікроелектроніка, микроэлектроника

Рассмотрены структуры технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Приведен анализ технических средств и основных подсистем обрудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием обрудовани, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя.

• ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка