Зведений каталог бібліотек Києва
З844Е912Ефимов, Иван Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежности. [Текст] : учебное пособие для вузов / Иван Ефимов, Ю.И. Горбунов, И.Я. Козырь. — Москва : Высшая школа, 1977. — 416 с. : ил.
- Ключові слова:
- Анотація:
В книге изложены физические и технологические основы полупроводниковой и пленочной микроэлектроники, основы работы активных элементов в ИМС; рассмотрены конструктивно-технологичесие особенности, материалы и элементы конструкции ИМС, их структурные элементы, процессы изготовления ИМС, контроль качества ИМС при изготовлении, испытания микросхем.
- Теми документа
