Зведений каталог бібліотек Києва
З844Е912Ефимов, Иван Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность. [Текст] : учебное пособие для вузов / Иван Ефимов, Иван Козырь, Юрий Горбунов. — 2-е изд., перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 1986. — 464 с. : ил.
- Ключові слова:
- Анотація:
В книге изложены основные принципы и направления развития микроэлектроники; приведена классификация изделий микроэлектроники и их общая характеристика; описаны физико-химические основы и технология изготовления полупроводниковых гибридных ИМС и БИС.
Во 2-м издании (1-е - 1977 г.) использованы последние достижения в разработке ИМС, более подробно рассмотрены новые технологические процессы и т. д.
- Теми документа
