виробництво, производство, production ; обладнання, оборудование, equipment ; обладнання електронне, оборудование электронное ; обладнання технологічне, оборудование технологическое ; обладнання промислове, оборудование промышленное

Описаны конструкции и приведены основные характеристики наиболее широко применяемого оборудования полупроводникового производства, сформулированы требования, предъявляемые к оборудованию, а по основным видам оборудования - практические рекомендации по оперативной проверке исправности его. Изложены основные принципы комплексной механизации и автоматизации в современном полупроводниковом производстве. Описаны наиболее характерные линии и производственные системы. Для инженеров и научных работников, связанных с производством и применением полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.

• ББК науковий // Електроніка