|
-
Ключові слова:
виробництво, производство, production ; обладнання, оборудование, equipment ; обладнання технологічне, оборудование технологическое ; легування, легирование, ligation ; обладнання промислове, оборудование промышленное
-
Анотація:
Систематизированы сведения о свойствах, параметрах и устройствах оборудования ионной имплантации. Рассматриваются физические явления, положенные в основу действия имплантационных установок. Приведены классификации и требования, предъявляемые к оборудованию и отдельныи его подсистемам. Изложены принципы автоматизации оборудования.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Інтегральні мікросхеми
|
