В книге подробно изложены различные аспекты растровой электронной микроскопии и рентгеновского микроанализа. Рассмотрены электронная оптика приборов, взаимодействие электронов с твердым телом, формирование изображения и контраст, проблема разрешения, рентгеновские спектры и количественный микроанализ, методы приготовления образцов, а также ряд более специальных вопросов - рентгеновский микроанализ легких элементов и тонких пленок, использование мини-ЭВМ, сопряженных с микроанализатором, исследование биологических объектов и ионно-ионный микроанализ.
Книга представляет интерес для материаловедов, химиков, биологов, физиков. Она может служить справочным руководством для специалистов по электронной микроскопии.