Опис документа

Зведений каталог бібліотек Києва

Опис документа

З844
П58 Попов, Виктор
СВЧ плазмохимическая обработка [Текст] / Виктор Попов, Анастасия Кондрашова. — 1982. — 44 с.

надзвичайно високі частоти, НВЧ, сверхвысокие частоты, СВЧ

ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
ББК науковий // Технология производства полупроводниковых радиотехнических материалов и изделий

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету Перейти на сайт