З80
Р154	Радиоэлектроника в 1980 году [Текст]. Совершенствование технологических процессов изготовления интегральных микросхем. Технология производства биполярных и МДП кремневых ИС, ИС на арсениде галлия : обзор по материалам иностранной печати / НИИЭИР. — Москва, 1981. — 51 с.