В3 | П533 | Полупрводниковые пленки для микроэлектроники [Текст] : монография / АН СССР, Сибирское отделение, ин-тут физики полупроводников; отв. ред. д-р физ.-мат. наук проф. Л. Н. Александров, канд. физ.-мат. наук В. и. Петросяк. — Новосибирск : Наука, 1977. — 248 с. : ил. |
| | |
|