напівпровідник, полупроводник, semiconductor, transistor ; збірник науково-технічних статей, сборник научно-технических статей
Статьи сборника посвящены изучению физико-химических аспектов легирования полупроводников, в них рассматриваются следующие вопросы: равновесие между фазами и взаимодействие компонентов в системах полупроводник - легирующие компоненты, коэффициенты распределения легирующих примесей между фазами, растворимость легирующих компонентов в полупроводниках и примесные уровни, термообработка легированных полупроводников, взаимодействие легирующих компонентов с дислокациями и вакансиями, диффузия в полупроводниках.
Сборник представляет интерес для широкого круга исследователей и практиков, работающих в области физики, химии и технологии полупроводников.
