З844 П781     Проблемы литографии в микроэлектронике [Текст] : труды / АН СССР, Институт общей физики; отв. ред.: Махвиладзе Т. М. — Москва : Наука, 1987. — 152 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету	2	Перейти на сайт