Описаны основные технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистки пластин и подложек, обеспечения топологии микросхем, получения пленок, формирования полупроводниковых слоев и переходов, сборки и герметизации, а также типовые технологические маршруты изготовления микросхем различного конструктивно-технологического исполнения. Содержание книги, в отличие от первого издания (1980 г.), приведено в соответствие современному уровню наук и производства.
Для учащихся средних специальных учебных заведений по специальности "Производство изделий электронной техники".
