|
-
Ключові слова:
електроніка фізична, электроника физическая ; тіло тверде, тело твердое, rigid body ; метод фізичний, метод физический ; електроніка твердотільна, электроника твердотельная
-
Анотація:
В монографии рассмотрены радиоционные методы, применяющиеся в технологии изготовления, а также на различных стадиях исследования и эксплуатации микроэлектронных приборов.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
|
