В книге рассмотрены технологические основы производства интегральных полупроводниковых и гибридных пленочных микросхем. Наряду с традиционной технологией приведены методы обработки и сборки, которые становятся основополагающими в производстве микропроцессорных БИС и микросборок, даны необходимые сведения о технологическом оборудовании.
