Зведений каталог бібліотек Києва

 

З844
П77Природный, Вениамин
    Эволюция технологии микроэлектроники (Союз микроэлектроники и микромеханики) [Текст] / Вениамин Природный. — Москва : Знание, 1985. — 64 с.


- Ключові слова:

технологія, технология ; мікроелектроніка, микроэлектроника

- Анотація:

В брошюре рассмотрены вопросы состояния технологии твердотельных приборов в середине 1980-х годов и проблемы, вохникающие при стремлении технологов этой области к созданию предельных структур; вопросы формирования технологии монокристалических, механических микроустройств и микроконструкций. Приведены и обсуждены этапы становления научной технологической системы на базе твердотельного синтеза.

- Теми документа

  • ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету 1 Перейти на сайт