Зведений каталог бібліотек Києва
ММ80Моро Микролитография: принципы, методы, материалы [Текст] = Microdevices / перевод с англ. : Зарослова Д. Ю., Мокроусова К. Я., Никитаева В. А.; под ред. Тимерова, с предисловием Валиева К. А. — Москва : Мир, 1990. — 632 с. : ил.
- Ключові слова:
- Анотація:
Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для пролупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
- Теми документа
