Зведений каталог бібліотек Києва
ММ80Моро Микролитография [Текст] = Microdevices : в двух частях / перевод с анг. под ред.: Тимерова Р. Х., с предисловием Валиева К. А. — Москва : Мир, 1990. — 606 с. : ил.
- Ключові слова:
- Анотація:
Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
- Теми документа
