З843
Н695	Белый, В. И.     Нитрид кремния в электронике [Текст] / АН СССР; Сибирское отделение, Институт физики полупроводников; Институт неорганичной химии; отв. ред.: Ржанов А. В. — Новосибирск : Наука, 1982. — 200 с. : ил. 131 + табл. 14.