виробництво, производство, production ; прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; технологія виробництва, технология производства

Излагаются принципы системного моделирования технологических процессов и полупроводниковых структур, создаваемых с помощью этих процессов. Описаны модели важнейших технологических процессов диффузии и фотолитографии, связывающие выходные характеристики приборов с режимами их изготовления. На базе разработанных моделей построены методы синтеза оптимальных алгоритмов управления технологическими процессами, применяемыми на стадиях разработки. Для инженерно-технических работников, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых приборов и интегральных схем.

• ББК науковий // Технология производства полупроводниковых приборов. Производство полупроводниковых фотоэлектрических приборов