прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; мікроелектроніка, микроэлектроника
В сборнике публикуются статьи отечественных авторов по следующим вопросам: общие проблемы и физические основы полупроводниковой микроэлектроники, основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем, методы контроля, проектирование микроэлектронной аппаратуры и технология ее изготовления, оптиэлектроника, новые направления микроэлектроники.
