Публикуются статьи отечесвтенных авторов по следующим вопросам: общие проблемы и физические основы полупроводниковой микроэлектроники, основы технологии интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, микросхемотехника, методы контроля и измерительной аппаратуры, новые направления электроники.