|
-
Ключові слова:
мікросхема, микросхема ; виробництво, производство, production ; мікроелектроніка, микроэлектроника
-
Анотація:
В книге в доступной форме изложены методы получения тонких пленок, даны основные понятия о конструкции и технологии изготовления элементов тонкопленочных микросхем и сведения о материалах и оборудовании, применяющихся в пленочной микроэлектронике.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Пленочные схемы и приборы
|
