З844
М597	Микроэлектроника: теория, конструирование и производство [Текст] = Microelectronics: Theory, Design, and Fabrication / перевод с англ.: Венедиктова Ю. П., Михайлова И. Н., Реймерова Л. И. и Рудаева Л. Н.; под ред.: Богодицкого Н. П. — Москва : Советское радио, 1966. — 455 с.