В сборнике публикуются статьи отечественных авторов по следующим вопросам: общие проблемы и физические основы микроэлектроники; полупроводниковые интегральные схемы, интегральные гибридные и пленочные схемы; основы технологии интегральных схем; микросхематехника; методы контроля и измерительная аппаратура; проектирование микроэлектронной аппаратуры и технология ее изготовления; оптоэлектроника; новые направления микроэлектроники.
