В сборнике публикуются статьи отечественных авторов по следующим вопросам: общие проблемы и физические основы микроэлектроники; полупроводниковые интегральные схемы; интегральные гибридные и пленочные схемы; основы технологии интегральных схем; микросхемотехника; методы контроля и измерительная аппаратура; проектирование микроэлектронной аппаратуры и технолгии ее изготовления; оптоэлектроника; новые направления в микроэлектронике.