|
-
Ключові слова:
енергетика, энергетика, power engineering ; радіоелектроніка, радиоэлектроника
-
Анотація:
Значительное внимание уделено вопросам механизации и автоматизации полупроводникового производства, перспективным направлениям механизации и автоматизации, описаны наиболее характерные комплексно-механизированные линии.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Енергетика. Радіоелектроніка
|
