З844 | О674 | Ормонт, Борис Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами (прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры) [Текст] / Борис Ормонт, Вениамин Смирнов. — Москва : Знание, 1977. — 62 с. : ил. |
| | |
|