В книге рассмотрены способы получения тонких неорганических пленок, применяемых в микроэлектронике для создания активных и пассивных элементов интегральных схем, а также в качестве пссивирующих и защитных покрытий. Наибольшее внимание уделено способу получения содержащих различные элементы стекловидных пленок нанесением из растворов. Приведены результаты экспериментального исследования электрофизических характеристик пленок, в том числе удельного электрического сопротивления, диэлектрической проницаемости, пробивного направления, удельной емкости, диэлектрических потерь, плотности поверхностных состояний и др., в зависимости от состава и условий получения пленок. Изложены результаты экспериментальных исследований по диффузии легирующих примесей из пленок двуокиси кремния в полупроводник.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, занятых разработкой и исследованиями в области микроэлектронной техники.
