В книге рассмотрены физические параметры поверхности полупроводников и методы их определения. Большое внимание уделено обработке поверхности и происходящим при этом процессе, влиянию обработки поверхности в пазовой фазе на свойства полупроводниковых приборах и методам защиты поверхности связанными с созданием стабильных характеристик германиевых и кремниевых приборах - одной из наиболее актуальных проблем полупроводниковой техники.
