Книга является учебным пособием по курсу "Физические основы микроэлектроники". В ней рассмотрены основные закономерности строения и роста кристаллов и тонких пленок. Изложены основы электронной теории твердого тела, а также описаны наиболее важные физические явления и эффекты в твердом теле, которые лежат в основе принципа действия микроэлектронных элементов и схем. Рассмотрены электронные процессы в тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленках и возможны принципы работы пленочных активных элементов и интегральных пленочных схем на их основе.
