Опис документа

Зведений каталог бібліотек Києва

Опис документа

З843
У254 Углов, Александр
Адгезионная способность пленок [Текст] / Александр Углов, Л.М. Анищенко, С.Е. Кузнецов. — Москва : Радио и связь, 1987. — 101 с. : ил.

- Ключові слова:

вимірювання радіотехнічні, измерения радиотехнические ; топографія мікросхеми, топография микросхемы

- Анотація:

Рассматривается адгезионная способность пленок, физико-механическое и физико-химическое взаимодействие на границе пленка-подложка, виды границ между пленкой и подложкой.

- Теми документа

ББК науковий // Напівпроводникові матеріали та вироби
ББК науковий // Пленочные схемы и приборы
ІКАО // схемы LNAV/бapo-VNAV; LNAV/baro-VNAV procedures

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету 3 Перейти на сайт