Зведений каталог бібліотек Києва
З854Ф815Гук, Е. Г. Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии [Текст] / АН УССР, Физико-технический институт; отв. ред.: Ельцов А. В. — Ленинград : Наука, 1984. — 117 с. : ил. 19 + табл. 22.
- Ключові слова:
- Анотація:
Рассматривается создание и применение в радиоэлектронике фоторезисторов- диффузантов - полимерных материалов для процессов фотолитографии и диффузии в полупроводниковом производстве.
- Теми документа
