система нелінійна, система нелинейная ; система радіотехнічна, система радиотехническая ; коло радіотехнічне, цепь радиотехническая
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, изучающих технологию микроэлектроники, а также конструирование и технологию радиотехнических микроэлектронных устройств.
На основе современных представлений классифицированы физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое внимание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспредилению атомов (ионов) примесей между внешней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы процессов эпитаксии и получения тонких пленок, свайки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы действия электрический полей и излучений на технологические процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химический характер протекания различных процессов и качество получаемых изделий.
